
Anwendungen von β-Siliciumcarbid (β-SiC) in der Halbleiterindustrie
Anwendungen von β-Siliciumcarbid (β-SiC) in der Halbleiterindustrie β-SiC, auch bekannt als 3C-SiC, besitzt eine kubische Zinkblende-Kristallstruktur und ist eine metastabile Phase. Es unterscheidet sich vom kommerziell dominierenden 4H-SiC (hexagonales α-SiC) für Leistungshalbleiter. Es weist eine Bandlücke von ca. 2,36 eV, eine hohe Elektronenmobilität und Heteroepitaxie auf Siliziumwafern auf und bietet exzellente Hochtemperaturbeständigkeit, Plasmaätzbeständigkeit und Strahlungstoleranz.

